химическое осаждение атомарных слоев из паров

 

химическое осаждение атомарных слоев из паров
То же, что осаждение атомарных слоев
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

EN

• ALCVD
• atomic layer chemical vapor deposition